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硅酸鉿

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硅酸鉿

IUPAC名
Hafnium(IV) silicate
系統名
Hafnium(4+) silicate
識別
CAS號 13870-13-8  checkY
PubChem 17979268
ChemSpider 16470992
SMILES
 
  • [Hf+4].[O-][Si]([O-])([O-])[O-]
性質
化學式 HfO4Si
摩爾質量 270.57 g·mol−1
外觀 四方晶體[1]
密度 7.0 g/cm3
熔點 2758 °C(3031 K)([1]
若非註明,所有數據均出自標準狀態(25 ℃,100 kPa)下。

硅酸鉿硅酸化學式HfSiO4

在現代半導體元件中,可以使用由原子層沉積化學氣相沉積MOCVD生長的硅酸鉿和硅酸鋯薄膜,作為高κ電介質替換二氧化鈦[2]二氧化鉿中的增大了能隙,同時降低相對電容率。此外,它還提高了非晶膜的結晶化溫度,並進一步增強了材料在高溫下與硅的熱穩定性[3]。有時會向硅酸鉿中加入以提高熱穩定性和設備的電性能。

參考資料

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  1. ^ 1.0 1.1 Haynes, William M. CRC handbook of chemistry and physics: a ready-reference book of chemical and physical data 92nd. Boca Raton, FL.: CRC Press英語CRC Press. 2011: 4-66. ISBN 978-1-4398-5511-9. OCLC 730008390 (英語). 
  2. ^ Mitrovic, I.Z.; Buiu, O.; Hall, S.; Bungey, C.; Wagner, T.; Davey, W.; Lu, Y. Electrical and structural properties of hafnium silicate thin films. Microelectronics Reliability. April 2007, 47 (4-5): 645–648 [2015-04-11]. doi:10.1016/j.microrel.2007.01.065. (原始內容存檔於2015-09-24). 
  3. ^ J.H. Choi; et al. Development of hafnium based high-k materials—A review. Materials Science and Engineering: R. 2011, 72 (6): 97–136 [2015-04-11]. doi:10.1016/j.mser.2010.12.001. (原始內容存檔於2015-09-24).