微技术
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微技术（英语：Micro-technology）包含了微机电感测和控制、驱动元件制程开发技术、微机电系统整合技术、射频(RF MEMS)、光学（Optical MEMS）、生物医学（Bio MEMS）、电脑与周边（Computer Peripheral MEMS）微机电系统研究[1][2]。
参考
[编辑]- ^ 王伯雄等编著. 微纳米测量技术. 北京：清华大学出版社 ,. 2006.08: 2–3. ISBN 7-302-13063-9.
- ^ 杨继全，朱玉芳编著. 先进制造技术. 北京：化学工业出版社 ,. 2004.09: 237. ISBN 7-5025-5961-2.
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